ギガフォトン、新型エキシマレーザーをFPD業界に初導入

大型液晶製造設備工場LTPS（低温多結晶シリコン） 向け新型エキシマレーザーを出荷

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社:
栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、高信頼性半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、“GIGANEX”シリーズのアニール向けエキシマレーザーの開発に成功、株式会社ブイテクノロジー（東証1部:7717）の極小レーザーアニール装置に搭載され、このほど大型液晶製造設備工場でのLTPS（低温多結晶シリコン）向けに出荷されたと発表しました。

近年ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用エキシマレーザーで培った技術を他の分野で応用するため、FPD製造における、a-Si（アモルファスシリコン）膜の極小レーザーアニール工程用エキシマレーザーの開発を進めており、このほど開発に成功した新型エキシマレーザー“GIGANEX”の試作機をパネルメーカーへ出荷しました。2016年5月22-27日に米国で開催されたDisplay
Week 2016では、試作パネルが出展され、大きな反響をよびました。

この“GIGANEX”シリーズのアニール向けエキシマレーザーは、ブイテクノロジー社製装置専用機であり、極小レーザーアニール工程の光源として開発されました。極小レーザーアニールの特徴は、既存のa-Siのパネル製造工程に導入してa-Siをp-Si（ポリシリコン）へ結晶化することにより、従来のa-Siでは作ることができなかった8Kなどの高精細パネルの製造が可能になることにあります。さらに、従来のレーザアニールでは実現できなかった大型パネルサイズに適しており、50-70インチのTVパネルを製造する大型液晶製造設備工場でも対応できます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「新しい分野に向けた、当社のエキシマレーザー“GIGANEX”が、FPD業界に進出し、パネルメーカー様のLTPS
TFT液晶パネル試作成功に貢献できたことを大変嬉しく思います。今後“GIGANEX”が、FPD製造での新たなソリューションとなり、業界に貢献できることを期待しています。」

GIGANEXについて
これまでギガフォトンが半導体リソグラフィで培った高い技術力を生かした、新型エキシマレーザー“GIGANEX”は、FPD製造・フレキシブルデバイスプロセス・リソグラフィ以外の半導体製造などの分野に向けた、エキシマレーザーの新ブランドです。新しいイノベーションを共に作り出すパートナーとともに、エキシマレーザーのさらなる可能性を探索し、GIGANEXのソリューションを提供していきます。
《詳細はこちら》
http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

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