ジェイテクト：EXSEV軸受シリーズ超高温用グリース封入軸受の開発

ジェイテクトは、特殊環境用EXSEV軸受シリーズのラインナップに、300℃まで使用可能なグリース封入軸受を加えた。これにより、半導体製造装置などの、耐熱性が求められる設備において、長寿命化が実現し、メンテナンスコストの低減などへの貢献が可能となる。

　近年、半導体製造装置において、製造プロセスの短縮化に伴い装置内の温度が高温になる傾向がある。従来のグリースは、200℃を超えると油分の蒸発が増え、増ちょう剤の熱分解が発生して使用できなくなる為、高温環境下では、固体潤滑剤を使用していたが、固体潤滑剤は寿命が短い為、メンテナンス期間が短いという問題があり、更に高い耐熱性・耐久性を備えた特殊環境用軸受の研究開発が必要だった。

　今回の開発品は、蒸発しにくい基油と熱分解に強い増ちょう剤を組み合わせたグリースを使用することで、300℃まで使用が可能。また、従来の固体潤滑剤と比較すると、寿命は6倍以上に伸びるなど、その性能を大幅に向上させ、耐熱性が求められる設備において、メンテナンスコストの低減と作業の効率化に貢献する。




【量産開始】2018年12月予定


【売上目標】20百万円/年


【販売先】半導体製造装置メーカー等


【製造工場】　徳島工場、国分工場、亀山工場、ダイベア（グループ会社）