オックスフォード・インストゥルメンツが、量子技術および先端R&D向け革新的超高速ALDシステム PlasmaPro ASPを発売

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社プラズマテクノロジー事業部は、2023年7月18日、Atomfab（R） システムに含まれる研究向け高速 ALD （原子層堆積） 装置の PlasmaPro ASP の発売を正式に発表しました。PlasmaPro ASPでは、新たに特許取得済みのリモートプラズマソースの設計、最適化されたチャンバー形状、およびイオンエネルギー制御のためのウェハステージバイアスを特長としています。それらによりALDのプロセスが3倍高速になり、本製品で当初想定した量子デバイス向けに低抵抗率、高Tcの超伝導窒化物膜を製造することができます。プラズマソースの設計には、プラズマ空間パラメータや高速低ダメージソースの特性を確認するための開発モジュールを受け入れてくれたアイントホーフェン工科大学（TU/e）との提携が重要な役割を果たしました。TU/eとの共同開発後に発表された研究論文は、昨年のAVS ALD/ALE会議で最優秀論文賞を受賞しました。

オックスフォード・インストゥルメンツとTU/eの協力関係は、プロセス開発まで続いており、TU/eは過去1年間、量子および追加アプリケーションのPlasmaPro ASPアプリケーション開発促進役を務めています。

「このシステムは、オックスフォード・インストゥルメンツの既存のALDツールのシリーズに加わった素晴らしいもので、生産性とプラズマ性能の点で際立っています。したがって、エレクトロニクス、フォトニクス、量子技術の分野における我々の研究に、非常に有益な機会を与えてくれます」と、 Prof.dr.ir. Erwin Kessels, プラズマ＆材料プロセス（PMP）グループ長が述べています。

オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジー（米国）、量子テクノロジー・マーケット・マネージャー、Russ Renzas博士は、次のように語っています。「我々は、超伝導量子材料向けのPlasmaPro ASPに対して、市場から発売前に高い関心が寄せられていることを感じていました。PlasmaPro ASP は、革新的な高速プラズマソース設計と安定した装置稼働、さらにPTIQと称する直感的なソフトウェア・インターフェースにより、量子技術の主要な課題に対処するように設計されています。また、当社のAtomfab（R） ALDシステムに由来するプラズマソース設計により、PlasmaPro ASPはプロセス速度と安定性を維持しつつ、柔軟性を高める追加ハードウェアを搭載することで、量子技術マーケットに開発サイクルを加速するユニークなソリューションを提供します」 。

オックスフォード・インストゥルメンツは、今年7月23日から26日までワシントン州ベルビューで開催される米国真空学会の第23回原子層堆積に関する年次会議（AVS ALD/ALE 2023）に参加します。オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーのスタッフがブースでPlasmaPro ASPについて説明し、量子技術やその他の発展途上の技術に向けた最新の原子スケールプロセスソリューションを紹介します。

詳しい製品情報は下記ウェブサイトをご覧ください。
https://plasma.oxinst.jp/products/ald/plasmapro-asp

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オックスフォード・インストゥルメンツについて
オックスフォード・インストゥルメンツ（Oxford Instruments）は、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡ります。以来60年以上にわたり、イノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学と、多岐にわたるアプリケーションを通じて、よりグリーンな世界への喫緊の課題解決に、当社のコア技術が採用されています。物性物理研究用の極低温無冷媒希釈冷凍機や超電導マグネットをはじめ、電子顕微鏡用の元素分析装置、レーザーや光学式イメージング装置、更には原子レベルでの半導体プロセス用プラズマ技術でのデポジション・エッチングシステムなど、様々な先端テクノロジー製品を提供しています。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社について
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社（Oxford Instruments KK）は、Oxford Instrumentsが日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。分析機器事業部、アンドール・テクノロジー事業部、アサイラム・リサーチ事業部、低温・超電導事業部、ビーテック事業部、プラズマテクノロジー事業部、マグネティック・レゾナンス事業部、MRI事業部で構成されています。

社名：オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
資本金：2億2016万1020円
代表者：代表取締役社長　合田　豊治
主要取引先：国公立及び民間企業の研究開発機関、半導体デバイスメーカー、電子顕微鏡メーカー
事業内容：科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取
設立：1991年6月27日
会社概要URL：https://www.oxinst.jp/corporate-profile

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