世界の電子ガス市場は2022年に90億米ドル市場に近づくものの、今後、新素材とチップ設計の複雑化などにより、特殊ガス、希少ガス、ヘリウムのサプライチェーンに問題が発生 【テクセット社調査報告】

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株式会社データリソースは、TECHCET（テクセット）社のレポート「世界の電子ガス市場動向（ネオンとキセノンを含む）」を6月16日に販売開始しました。6月15日付の同社のプレスリリースによると、電子ガス市場の売上は2021年に63億米ドルに達し、2022年には8％に成長する、と予測しています。



プレスリリース詳細

電子ガス市場 - '22年に90億米ドル市場に近づく
2022年6月15日プレスリリース

新素材とチップ設計の複雑化により、特殊ガス、希少ガス、ヘリウムのサプライチェーンに問題が発生

カリフォルニア州サンディエゴ
ビジネスおよび技術情報を提供する電子材料アドバイザリー企業であるTECHCETは、電子ガス市場の売上が2021年に63億米ドルに達し、2022年には8％に成長すると予測しています。同社の最新レポート「世界の電子ガス市場の動向 （Electronic Gases Report）」では、2022年の電子ガス市場は68億米ドル近くに達し、主に特殊ガスの成長に起因すると予測しています。

最先端のロジックや新世代のメモリが続々と登場する中、エッチング、蒸着、チャンバークリーニングなどの用途で消費される特殊ガスは引き続き強い需要があります。この分野は2022年に10%増加し、2026年まで年平均9%で成長すると予測されています。これは、TECHCETが新たに発表した2022 Critical Materials Reportの一つである当レポート「世界の電子ガス市場の動向 （Electronic Gases Report）」（Jonas Sundqvist, PhD著） に示されています。

短期的には、ヘリウムやネオンなどの主要産業ガスの供給問題があり、長期的には、三フッ化窒素（NF3）、六フッ化タングステン（WF6）などのガスの需給バランスが、産業需要の増加に伴ってタイトになる可能性があります。

ネオンの供給能力は、ロシアのウクライナ侵攻により危険にさらされています。

これらの供給源からの一部のガス供給は永久に失われる可能性があります。ロシアの供給能力不足に起因するヘリウムのサプライチェーンの混乱は、半導体産業に影響を与え始めています。

ロシアは現在、ヘリウムと希ガスの輸出を禁止しており、ヘリウムとネオンのような希ガスのサプライチェーンの問題は長引くでしょう。戦争はヘリウム供給問題の一部に過ぎません。メンテナンスの問題、製品供給の遅れ、他のヘリウム生産地域での生産の混乱などが、サプライチェーンの逼迫に拍車をかけているのです。

今後数年間、世界的に新しい半導体製造装置が稼働するにつれ、他のガス（B2H6、WF6、NF3、CFガス）についても、需要の増加が供給を上回ると予想されるため、供給制約が生じる可能性があります。半導体メーカーの工場生産能力増強に伴い、ジボラン（B2H6）材料の需要が急増しています。これは、ドープカーボンハードマスクなど多くのデバイス用途で重要な役割を担っているためです。

また、マルチパターニングやEUVリソグラフィーなどCVD/ALD成膜プロセスのパス数増加に伴い、洗浄需要も増加しており、チャンバー洗浄用のNF3は大きな伸びが予想されます。

現在の予測では、2025年から2026年にかけて、需要が供給を上回り、NF3の供給が逼迫する可能性があります。同様に、WF6についても2025-2026年頃に供給問題が発生する可能性があるとTECHCETは見ています。

ただし、メモリ用途のタングステン（W）に代わってモリブデン（Mo）が使用される可能性があり、WF6の不足を回避できるかもしれません。WF6の需要は、主に3DNANDの垂直スケーリングによる高レイヤー数化によってもたらされますが、新しい相互接続材料によって、将来の需給の不均衡が緩和される可能性もあります。

TECHCETのCMRで取り上げられた電子ガスの供給元には、Air Products、Air Liquide、EMD / Merck、Linde、Matheson Gas、SK Materials、Gazprom、Huate Gas、Peric、その他多数が含まれています。


■本レポートについて
世界の電子ガス市場動向（ネオンとキセノンを含む）
https://www.dri.co.jp/auto/report/techcet/techcet-gases.html
発行日：2022年6月15日

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