ギガフォトン、新型KrFエキシマレーザーをパネルメーカー量産ラインにて評価開始

大型液晶パネル製造工場でのアニール工程向け光源である、新型KrFエキシマレーザーの評価を開始、来年夏の量産を目指す。

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社:
栃木県小山市、代表取締役社長:
都丸仁）は、半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、アニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し、11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始したと発表しました。

今回ギガフォトンは、自社新ブランド“GIGANEX”^（注シリーズの一環として、同社が創業以来培ったKrF技術を活かしたアニール向け新型KrFエキシマレーザーの開発に成功し、11月にはパネルメーカーの量産ラインにて評価を開始しました。このKrFエキシマレーザーは600Wの高出力仕様であり、大型パネルの高画質化への需要が高まる国内外のパネルメーカーからアニール用光源として大きな期待を寄せられています。ギガフォトンは、このKrFエキシマレーザーの量産機を2017年夏に出荷することを目指します。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社が開発する、新型KrFエキシマレーザーが、“GIGANEX”シリーズのラインナップに加わり、より多様なお客様のニーズに応えることができると期待しています。“GIGANEX”シリーズは今後もFPD業界を始め様々な分野において価値あるソリューションを提供していきます。」

GIGANEXに関する過去のニュースリリース

^（注GIGANEXについて
ギガフォトンの新ブランド“GIGANEX”は、これまでギガフォトンが半導体リソグラフィで培った高い技術力を生かし応用した、新型エキシマレーザーの総称です。“GIGANEX”は、FPD製造、フレキシブルデバイスプロセス、リソグラフィ以外の半導体製造などの分野に向け、新しいイノベーションを共に作り出すパートナーとともに、エキシマレーザーのさらなる可能性を探索し、価値あるソリューションを提供していきます。

《詳細はこちら》
http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series

ギガフォトンについて
2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

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