検査装置のタカノ、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプの高さと径を同時に検査可能な検査装置「ALTAX-300EX」 半電子部材市場全体へ展開 2022年12月14日より販売開始

直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを全数検査できる装置「ALTAX-300EX」

タカノ株式会社(本社：長野県上伊那郡宮田村、代表取締役社長：鷹野 準)は、新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプの高さと径を全数検査できる装置「ALTAX-300EX」を2022年12月14日(水)より販売開始いたします。

画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/337957/LL_img_337957_1.png
直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを全数検査できる装置「ALTAX-300EX」

＜製品特長＞
・タカノでは自社製の新開発高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのウェーハのマイクロバンプにおいて3D＋2Dの同時全数検査を行うことができます。

・12inchウェーハまでの検査を実現したことでディスクリートから高集積デバイスまで電子部材市場全体への展開も実現できます。


【製品開発の背景】
半導体チップの微細化が難しくなっているため、デバイス性能の向上には異なるデバイスを1つのパッケージ内に組み込む技術の開発が進んでいます。実際に2.5Dや3Dパッケージ基板の開発が進み、チップと電極をつなぐため、マイクロバンプの実製品への投入が始まっています。
マイクロバンプの形成方法もボール実装や印刷、露光エッチング等様々な方法が開発されているため、従来のバンプであればチップ内のある1ヶ所の特定箇所にまとまって配置されていましたが、マイクロバンプはチップ内の複数箇所にレイアウトされている場合もあります。
通常、高倍率でのウェーハ全面検査には検査時間が長くかかってしまうため、全数検査をするには検査装置を複数台購入する必要があり、検査工程に今まで以上にコストがかかってしまう懸念がありました。そこで、タカノでは新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを高速で全数検査ができる検査装置「ALTAX-300EX」を開発いたしました。


〈製品ページ〉
https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/altax-300ex/


【製品の概要】
■製品名 ：ALTAX-300EX
■製品仕様 ：・主な測定項目：バンプ高さ、バンプ径
・バンプ径 ：≧10μm
・バンプピッチ：≧20μm
■発売日 ：2022年12月14日(水)
■想定する業界：・国内外の半導体メーカー向け


【タカノについて】
「製造業から『創造業』へ」
ばねの製造に始まり、オフィス家具、エクステリア製品へ。そして先進のエレクトロニクス製品、さらには医療・福祉関連製品へ。タカノは次々に新分野への参入を実現し、常に新しい製品の開発にチャレンジしてきました。この展開力こそがタカノの特色であり、発展の源です。
これからも「社員一人ひとりの活力が企業の力である」という企業理念を大切にしながら、あらゆる角度から事業展開の可能性を追求し、未踏の領域に挑戦していきます。


【会社概要】
会社名 ： タカノ株式会社
東京証券取引所スタンダード市場上場(証券コード：7885)
所在地 ： 長野県上伊那郡宮田村137
代表者 ： 代表取締役社長 鷹野 準
創業 ： 1941年7月1日
設立 ： 1953年7月18日
URL ： https://www.takano-net.co.jp
事業内容： 事務用椅子、その他椅子等のオフィス家具、ばね、
エクステリア製品、エレクトロニクス関連製品
(画像処理検査装置、電磁アクチュエータ)、
医療・福祉機器の製造ならびに販売