Extreme検出器がSEM/EDS分析を新時代に JFEテクノリサーチ株式会社は、"ものづくり"の技術課題を解決するお客様のベストパートナーをめざして、ナノ領域から大型構造物まで幅広い対象において、最新の分析・試験設備を用い、信頼性の高い解析・評価技術を提供しています。2021年、カールツァイス社製の極低加速電圧SEM(Ultra Low Voltage Scanning Electron Microscope:ULV-SEM)に対応した当社オックスフォード・インストゥルメンツのウインドウレス型EDS検出器 (Ultim Extreme)を導入しました。なぜUltim Extremeを導入されたのか、またどのように使用されているのか、具体的な実例も交えて、JFEテクノリサーチ株式会社のフェローで物理解析のスペシャリストである佐藤馨氏と、同社材料解析部の中村貴也氏にお話を伺いました。