エドワーズが科学機器に最適な新しい空冷式ドライポンプシリーズを発売

英バージェスヒル--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ） --
エドワーズは、新しい空冷式ドライ真空ポンプのnXLiシリーズを発売します。nXLiシリーズは、安定した性能、信頼性、制御が必要なアプリケーション向けに最適です。nXLiは設置面積が狭く、静音動作であるため、使いやすく高性能でありながらもコンパクトな真空ポンプとなっています。

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インテリジェントドライブにより、単相電源の性能の限界を改善して、世界中どこでも同一の性能を実現します。制御方法はマニュアル通信、シンプルリモート通信、シリアル通信を選択できるため、システム構築者にとってより柔軟性のある制御が可能となります。ポンプ機構は非接触構造でありかつオイルフリーとなっており、最大限の稼働時間、すなわち最長5年までサービスライフが伸びます。

引き始めのチャンバー排気では、インテリジェントな過渡的過負荷保護機能により高い出力を短時間で引き出すことが可能になり、ポンプはチャンバーを大気圧から作業圧力まで排気することが出来ます。このより高い初期ブースト出力によりポンプは初期のガス負荷に耐えられる一方、作業圧力に一度到達すれば低出力で済むようになります。

この新しい単相ポンプはnXL110i
とnXL200iの2つのオプションがあり、いずれもLCMS（液体クロマトグラフィー質量分析法）とICPMS（誘導結合プラズマ質量分析法）の用途に最適化されており、最大25
slmのガス負荷量を扱うことができます。

エドワーズの高真空担当シニアプロダクトマネジャー、デーブ・グッドウィンは、次のようにコメントしています。「性能は当社の新しいnXLiドライポンプの核心です。私たちは半導体製造用ドライポンプのEdwards
iXLシリーズを基盤にした新シリーズの発売に興奮しています。新シリーズは、実績に裏づけされた性能により安心をご提供します。」

詳細情報についてはwww.edwardsvacuum.com/nXLiをご覧ください。

エドワーズについて
エドワーズは、高度な真空製品、排ガス処理システム、関連付加価値サービスの大手開発メーカーです。これらの製品とサービスは、半導体、フラットパネル・ディスプレイ、LED、太陽電池の製造プロセスに欠かせないものであり、粉末、ガラス、その他のコーティング用途、鉄鋼その他の冶金、製薬や化学の用途などの多様性を増す工業プロセスで使用され、科学機器にもさまざまな研究開発用途にも利用されています。

エドワーズは、世界に4000人以上の社員を擁し、ハイテク真空・排気管理装置の設計、製造、サポートに従事しています。エドワーズは最先端の製造施設を欧州・アジア・北米に持っています。

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