左から2インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ

アダマンド並木精密宝石株式会社(東京都足立区、代表取締役社長 並木 里也子)は、大型サファイア12インチ基板(φ300mm)のテスト販売を開始致しました。

サファイアは、LED照明の光源である下地基板として使用されてきましたが、近年では半導体市場からの需要も増え、Si(シリコン)基板と同様に大型基板(12インチ)のニーズが高まってきています。Si(シリコン)基板との貼り合わせや、搬送用治具などの用途のほか、エピタキシャル成長用としての需要を見据え、従来のサファイア基板製造技術と経験を活かし12インチの大型サファイア基板の製造に成功しました。

当社は、更なる高品位なサファイア基板の製造に数年前から着手し、大型基板、基板表面の清浄度、形状制御に関する技術改善を進め、2インチから12インチまでのサイズをエピタキシャル成長用基板として販売しています。

画像1: https://www.atpress.ne.jp/releases/336555/LL_img_336555_1.jpg
左から2インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ

■ 特徴
1. 世界初 エピタキシャルウェハグレード、ヘテロ成長が可能
2. サファイア基板表面のパーティクル(ゴミや汚れ)が極限まで少ない
当社のPrime基板は、2インチから8インチまでのサイズでは、0.3μm以上の大きさのパーティクルが2インチあたり50個以下、主要金属(K Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn)については2E10/cm2以下の基準で管理しており、12インチ基板においても同等のPrimeグレードを達成する見込み
3. 12インチ半導体製造プロセス用のキャリアウェハ(装置内搬送トレイ)や、貼り合せ用基板として使用可能
4. 凹面、凸面の形状制御が可能

製品詳細ページ https://www.ad-na.com/product/jewel/product/sapphire-wafers.html


【会社概要】
アダマンド並木精密宝石株式会社
本社所在地： 東京都足立区新田3丁目8番22号
設立 ： 1953年8月28日
代表者 ： 代表取締役社長 並木 里也子
資本金 ： 1億円
従業員数 ： 550名(2022年1月1日現在)
電話 ： 03-3919-2200(直通)
URL ： https://www.ad-na.com/
情報提供元： ＠Press